Автор: Аскер Кушхов
Ионно-плазменная обработка материалов
Аскер Кушхов
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе....
Физика взаимодействия ускоренных ионов, электронов и атомов с веществом. Ускоренные электроны
Аскер Кушхов
Учебное пособие посвящено основам физики взаимодействия ускоренных электронов с твердым телом, широко применяемых в электронике. Рассматривается энергетика и основные взаимодействия электронов с веществом в зависимости от их энергии....
Элионная технология в микро- и наноиндустрии
Аскер Кушхов
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с...
