Элионная технология в микро- и наноиндустрии
Аскер Кушхов
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.
- Категория: электроника
- Правообладатель: МИСиС
- Год написания: 2008
- Возрастное ограничение: 0+
- Легальная стоимость: 588.00 руб.
Читать книгу «Элионная технология в микро- и наноиндустрии» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
