Ионно-плазменная обработка материалов
Аскер Кушхов
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.
- Категория: электроника
- Правообладатель: МИСиС
- Год написания: 2008
- Возрастное ограничение: 0+
- Легальная стоимость: 668.00 руб.
Читать книгу «Ионно-плазменная обработка материалов» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
