Автор: Игорь Житяев
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Игорь Житяев
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование...
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения
Игорь Житяев
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов...
