Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения
4.0 из 5, отдано 26 голосов
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
-
Категория: учебники и пособия для вузов
-
Правообладатель: Южный Федеральный Университет
-
Возрастное ограничение: 0+
-
ISBN: 978-5-9275-3097-7
-
Легальная стоимость: 125.00 руб.
Читать книгу «Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения» онлайн: