Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения
Игорь Житяев
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, изготовления суперконденсаторов, матричных острийных структур, супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Южный Федеральный Университет
- Год написания: 2020
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-9275-3097-7
- Легальная стоимость: 125 руб.
Читать книгу «Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
