Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии
Игорь Житяев
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок.
Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 – Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 – Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 – Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Южный Федеральный Университет
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 9785927523955
- Легальная стоимость: 125.00 руб.
Читать книгу «Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
