Автор: А. Т. Каменихин
Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды
А. Т. Каменихин
Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования — средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по...
Расчет вакуумных систем технологического оборудования
А. Т. Каменихин
Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере,...
Механизмы прецизионных перемещений
А. Т. Каменихин
Приведены методы анализа, выбора и расчета прецизионных механизмов микро- и наноперемещений с учетом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены...
Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды
А. Т. Каменихин
Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования — средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по...
