Механизмы прецизионных перемещений
Валерий Михайлов
Приведены методы анализа, выбора и расчета прецизионных механизмов микро- и наноперемещений с учетом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров. Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений. Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.02 «Наноинженерия».
- Категория: техническая литература
- Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
- Год написания: 2023
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7038-5529-4
- Легальная стоимость: 364.9 руб.
Читать книгу «Механизмы прецизионных перемещений» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
