Расчет вакуумных систем технологического оборудования

Валерий Михайлов. Расчет вакуумных систем технологического оборудования
Валерий Михайлов. Расчет вакуумных систем технологического оборудования
3.3 из 5, отдано 17 голосов
Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
  • Категория: техническая литература
  • Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
  • Год написания: 2022
  • Возрастное ограничение: 0+
  • ISBN: 978-5-7038-5813-4
  • Легальная стоимость: 144.00 руб.

Читать книгу «Расчет вакуумных систем технологического оборудования» онлайн:

Комментарии ():

Вам также может понравиться:

Оставайтесь на связи

Будьте в курсе новостей о выходящих книгах, подпишитесь на нашу еженедельную рассылку:
© 2011-2024. Your Lib. All Rights Reserved.