Автор: Н. В. Макушина
Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
Н. В. Макушина
Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические...
Расчет, конструирование и изготовление дифракционных и голограммных оптических элементов
Н. В. Макушина
Изложены современные методы создания дифракционных и голограммных оптических элементов. Особое внимание уделено технологическим процессам их изготовления с применением методов плазмохимического травления оптических стекол. Для студентов...
