Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра

Н. В. Макушина. Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
Н. В. Макушина. Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
3.85 из 5, отдано 21 голосов
Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.
  • Категория: техническая литература
  • Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
  • Год написания: 2006
  • Возрастное ограничение: 0+
  • ISBN: 5-7038-2926-7
  • Легальная стоимость: 118.00 руб.

Читать книгу «Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра» онлайн:

Комментарии ():

Вам также может понравиться:

Оставайтесь на связи

Будьте в курсе новостей о выходящих книгах, подпишитесь на нашу еженедельную рассылку:
© 2011-2024. Your Lib. All Rights Reserved.