Автор: Светлана Козубняк

. Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Светлана Козубняк

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии...

Оставайтесь на связи

Будьте в курсе новостей о выходящих книгах, подпишитесь на нашу еженедельную рассылку:
© 2011-2024. Your Lib. All Rights Reserved.