Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Светлана Козубняк
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
- Год написания: 2013
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7038-3729-0
- Легальная стоимость: 118.00 руб.
Читать книгу «Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
