Автор: Сергей Курочка
Молекулярно-пучковая и мос-гидридная технологии. Методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций
Сергей Курочка
В результате анализа условий проявления квантово-размерных эффектов, возникающих в многослойных тонкопленочных структурах, уточнены требования к технологическим процессам формирования наноструктурированных гетерокомпозиций. Анализируются как...
Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы
Сергей Курочка
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси...
