Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы
Аскер Кушхов
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении.
- Категория: учебно-методические пособия
- Правообладатель: МИСиС
- Год написания: 2012
- Возрастное ограничение: 0+
- Легальная стоимость: 496.00 руб.
Читать книгу «Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
