Расчет вакуумных систем технологического оборудования
Валерий Михайлов
Рассмотрены методы выбора средств откачки и разработки принципиальных вакуумных схем. Приведены методика расчета длительности этапов откачки, построения технологических диаграмм и графиков изменения давления в приборе или технологической камере, а также методы расчета сорбционных процессов при определении длительности сверхвысоковакуумной и высоковакуумной откачки. Для самостоятельной работы и выполнения домашнего задания по дисциплине «Физика вакуума» студентами бакалавриата, обучающимися по направлениям подготовки «Электроника и наноэлектроника» и «Наноинженерия».
- Категория: учебно-методические пособия
- Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
- Год написания: 2022
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7038-5813-4
- Легальная стоимость: 144.00 руб.
Читать книгу «Расчет вакуумных систем технологического оборудования» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
