Вакуумные системы источников синхротронного излучения
А. Б. Беркин
Рассмотрены основные требования к вакуумным системам современных источников синхротронного излучения (СИ), особенности их проектирования и расчета. Основной акцент сделан на определяющую роль поверхности в сверхвысоковакуумных установках. Рассмотрены современные подходы к использованию компактных комбинированных насосов, распределенных насосов на основе геттерных материалов и покрытий в реализации эффективной откачки остаточных газов в протяженных вакуумных системах. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Новосибирский государственный технический университет
- Год написания: 2022
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7782-4831-1
- Легальная стоимость: 117.00 руб.
Читать книгу «Вакуумные системы источников синхротронного излучения» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
