Микроэлектромеханика
Д. И. Остертак
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области.
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Новосибирский государственный технический университет
- Год написания: 2016
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7782-2901-3
- Легальная стоимость: 150.00 руб.
Читать книгу «Микроэлектромеханика» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
