Методические материалы по дисциплине «Высоковакуумные технологические процессы в наноинженерии» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций, лабораторных работ, перечень учебных видеоматериалов, слайдов,...
Рассмотрены физические процессы, происходящие в вакууме и полупроводниковых структурах при работе электровакуумных и полупроводниковых приборов. Описаны основные физические явления при вакуумировании корпусов приборов, формировании потоков...