Автор: С. Ю. Юрчук
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами
С. Ю. Юрчук
Курс лекций описывает основные математические модели фотолитографии и электронной литографии, используемых при создании субмикронных структур. Приведены модели отдельных процессов фотолитографии: формирование изображения в фоторезисте,...
Основы математического моделирования
С. Ю. Юрчук
В учебном пособии описаны основные математические модели современных технологических процессов полупроводниковой электроники: диффузии, ионной имплантации, термического окисления и импульсного отжига. Представлены методики решения основных...
Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Моделирование наносистем методами молекулярной динамики
С. Ю. Юрчук
Цель курса лекций – ознакомить студентов с методами моделирования процессов выращивания наноструктур. Даны основные представления о методе Монте-Карло, основанном на выборе случайных процессов. Представлены приложения метода Монте-Карло для...
Методы математического моделирования. Учебное пособие
С. Ю. Юрчук
Изложены основные методы численного моделирования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники, основанные на решении фундаментальной системы уравнений: Пуассона, непрерывности и переноса. Рассмотрены основные приближения базовой системы...
Приборы квантовой и оптической электроники
С. Ю. Юрчук
Лабораторный практикум включает описание принципов работы основных оптоэлектронных полупроводниковых приборов – фотодиодов, фотопреобразователей, фототранзисторов, оптопар и светодиодов. Представлены схемы измерения и методики расчета основных...
