Автор: Л. А. Сейдман
Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталей
Л. А. Сейдман
Книга представляет собой подробное справочное руководство по основам плазменной химико-термической обработки поверхности стальных деталей. В ней обобщены сведения о современном развитии этих технологических процессов, теоретические основы и...
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Л. А. Сейдман
Книга представляет собой подробное справочное руководство по физическим основам, технологическим особенностям и практическому применению процесса реактивного магнетронного нанесения тонких пленок сложного состава, представляющих собой химические...
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
Л. А. Сейдман
Настоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии – реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено...
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Л. А. Сейдман
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением...
Упрочнение стальных деталей плазмохимической обработкой
Л. А. Сейдман
Предложены теоретические основы и раскрыты методы плазменной химико-термической обработки поверхности стальных деталей. Представлены виды необходимого оборудования и принципы его конструирования для достижения высокой производительности,...
