Автор: Е. А. Деулин

Изложены основные положения физики вакуума, описание и принципы работы элементов вакуумного оборудования (вакуумных насосов, манометров, фланцев, электрических и механических вводов в вакуум и др.), работающих в высоком и сверхвысоком вакууме....