Автор: А. М. Семенов

Рассмотрены механические насосы для получения форвакуума, высокого и сверхвысокого вакуума, а также насосы, работающие за счет физической адсорбции и хемосорбции, и применяемые в современных ускорителях заряженных частиц. Большое внимание...