Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники
Тамара Николаевна Патрушева
В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нано- технологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров, которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные, полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих курс «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров.
- Категория: электроника
- Правообладатель: ИНФРА-М
- Год написания: 2019
- Возрастное ограничение: 16+
- ISBN: 9785160063768
- Легальная стоимость: 789.00 руб.
Читать книгу «Сенсорика. Современные технологии микро- и наноэлектроники» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
