Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем
В. Ю. Васильев
Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Lme (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем. Может быть рекомендовано для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники, а также для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
- Категория: электроника
- Правообладатель: Новосибирский государственный технический университет
- Год написания: 2022
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7782-4726-0
- Легальная стоимость: 180.00 руб.
Читать книгу «Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
