Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
Аскер Кушхов
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
- Категория: электроника
- Правообладатель: МИСиС
- Год написания: 2007
- Возрастное ограничение: 0+
- Легальная стоимость: 548.00 руб.
Читать книгу «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
