Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций
Геннадий Кузнецов
В курсе лекций рассматриваются принципы построения, организации и функционирования наноразмерных гетерокомпозиций, физико-химические основы метода Ленгмюра – Блоджетт, ионно-плазменного получения пленок аморфного гидрогенизированного кремния, проблемы деградации параметров пленочных структур. Анализируются эффекты размерного квантования в полупроводниковых наноструктурах, закономерности ионно-плазменного получения пленок нитридов металлов и карбида кремния, а также формирования топологии микросхем с применением неразрушающих методов контроля. Обсуждаются и анализируются особенности технологии молекулярнопучковой и МОС-гидридной эпитаксии полупроводниковых соединений. Излагаются основы синтеза сверхрешеток алмазоподобных широкозонных материалов и структурно-ориентационного изоморфизма.
- Категория: электроника
- Правообладатель: МИСиС
- Год написания: 2008
- Возрастное ограничение: 0+
- Легальная стоимость: 704.00 руб.
Читать книгу «Микро- и нанотехнологии пленочных гетерокомпозиций» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
