Гетероструктурная наноэлектроника
Алексей Ковалев
Пособие посвящено анализу нового направления электроники – гетероструктурной наноэлектронике. Это часть более масштабного направления, называемого нанотехнологией и охватывающего разработку полупроводниковых приборов и устройств субмикронных размеров. Даны примеры реализации полевых и биполярных транзисторов на основе гетеросистем из материалов Ge/Si и AIIIBV с субмикронными размерами активных областей. Рассмотрены механизмы формирования и условия получения гетероэпитаксиальных структур с квантовыми точками в системах Ge/Si и InAs/GaAs с учетом элементов самоорганизации при эпитаксии. Интерес к самоупорядоченным наноструктурам обусловлен созданием фотоприемников и источников излучения в диапазоне длин волн 1,3…1,5 мкм.
- Категория: электроника
- Правообладатель: МИСиС
- Год написания: 2009
- Возрастное ограничение: 0+
- Легальная стоимость: 588.00 руб.
Читать книгу «Гетероструктурная наноэлектроника» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
