Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для СПО
Александр Сергеевич Сигов
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки.
- Категория: радиотехника
- Правообладатель: ЮРАЙТ
- Год написания: 2025
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 9785534197709
- Легальная стоимость: 1589.00 руб.
Читать книгу «Конструирование и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для СПО» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
