Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
Владимир Астахов
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.
- Категория: материаловедение
- Правообладатель: МИСиС
- Год написания: 2007
- Возрастное ограничение: 0+
- Легальная стоимость: 120.00 руб.
Читать книгу «Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
