Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Часть 3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел
Анатолий Вяткин
В курсе лекций рассматриваются физические процессы, сопровождающие взаимодействие ионных пучков с твердыми телами. Решаются задачи определения пробега ионов в твердых телах и их распределение. Подробно рассматриваются процессы обратного рассеяния ионов, ионной имплантации, распыления твердых тел ионной бомбардировкой. Детально описываются процессы каналирования ионов в монокристаллических твердых телах и использование этого явления для анализа структуры поверхностных слоев монокристаллов.
- Категория: материаловедение
- Правообладатель: МИСиС
- Год написания: 2001
- Возрастное ограничение: 0+
- Легальная стоимость: 536.00 руб.
Читать книгу «Взаимодействие лазерных, электронных и ионных пучков с поверхностью твердых тел. Часть 3. Взаимодействие ионных пучков с поверхностью твердых тел» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
