Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе
Николай Татаренко
В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.
- Категория: материаловедение
- Правообладатель: Издательская фирма "Физико-математическая литература"
- Год написания: 2006
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 5-9221-0695-3
- Легальная стоимость: 249.00 руб.
Читать книгу «Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
