Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение
Александр Михайлович Ефремов
В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
- Категория: физика
- Правообладатель: Издательская фирма "Физико-математическая литература"
- Год написания: 2013
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-9221-1406-6
- Легальная стоимость: 849.00 руб.
Читать книгу «Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
