Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом
Геннадий Кузнецов
В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердо› го тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источ› ники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируют› ся области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.
- Категория: учебно-методические пособия
- Правообладатель: МИСиС
- Год написания: 2005
- Возрастное ограничение: 0+
- Легальная стоимость: 248.00 руб.
Читать книгу «Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
