Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур
Кирилл Щербачев
Содержание предлагаемого пособия соответствует лекционному курсу «Дифракционные методы изучения поверхности и приборных структур», читаемому в качестве спецкурса студентам специальности 071000 «Материаловедение и новые технологии». В нем кратко изложены теоретические основы дифракционных методов изучения структуры поверхности и основы дифрактометрии высокого разрешения, рассматриваемой в качестве основного инструментального метода. Показана связь деформаций в сложных многослойных структурах с измеряемыми рентгенодифрактометрическими методами характеристиками: средними деформациями, усредненными по толщине гетероструктуры, профилями деформации, кривизной.
- Категория: учебно-методические пособия
- Правообладатель: МИСиС
- Год написания: 2001
- Возрастное ограничение: 0+
- Легальная стоимость: 404.00 руб.
Читать книгу «Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структур» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
