Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий
Дмитрий Крутогин
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
- Категория: учебно-методические пособия
- Правообладатель: МИСиС
- Год написания: 2015
- Возрастное ограничение: 0+
- Легальная стоимость: 224.00 руб.
Читать книгу «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
