Методы литографии в наноинженерии
В. В. Макарчук
Методические материалы по дисциплине «Методы литографии в наноинженерии» содержат ее нормативную базу, рекомендации по организации и проведению лекций, практических занятий, семинаров, лабораторных работ и деловых игр, перечень учебных видео- и аудиоматериалов, слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы, необходимые для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов, аспирантов и преподавателей высших технических учебных заведений по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будут полезны всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.
- Категория: учебно-методические пособия
- Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
- Год написания: 2011
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7038-3500-5
- Легальная стоимость: 295.00 руб.
Читать книгу «Методы литографии в наноинженерии» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
