Введение в современную микро- и наносистемную технику
А. В. Гридчин
Раскрыто основное содержание понятий «микросистема» и «микросистемная техника». В порядке общего ознакомления рассмотрены вопросы проектирования, изготовления и экспериментальной верификации микросистем. Представлен кремний как основной материал современной электроники. Дано последовательное описание технологии производства монокристаллического кремния и изготовления кремниевых пластин. Представлено современное микроэлектронное производство и применяемые на нем стандартные технологические операции. Сделан вывод о применении описанных технологий для изготовления микро- и наносистемной техники. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 «Приборостроение» и 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника», для колледжей микроэлектронного направления и широкого круга читателей.
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Инфра-Инженерия
- Год написания: 2024
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-9729-1613-9
- Легальная стоимость: 980.00 руб.
Читать книгу «Введение в современную микро- и наносистемную технику» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
