Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus
А. А. Глушко
Рассмотрена система TCAD Sentaurus приборно-технологического моделирования процессов формирования элементов интегральных микросхем, а также моделирования физических процессов, протекающих в этих элементах при различных условиях эксплуатации. Система представляет собой комплекс программ, развернутых на удаленном сервере под управлением операционных систем, подобных Linux. Для студентов, обучающихся по специальности «Проектирование и технология производства электронной аппаратуры».
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
- Год написания: 2015
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7038-4177-8
- Легальная стоимость: 144.00 руб.
Читать книгу «Приборно-технологическое моделирование в системе TCAD Sentaurus» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
