Материалы микроэлектроники: тонкие пленки для интегрированных устройств

О. М. Жигалина

3.0 из 5, отдано 24 голосов

Изложены основные понятия, относящиеся к науке о строении и свойствах сегнетоэлектрических материалов. Рассмотрены примеры применения и перспективы использования сегнетоэлектрических пленок в интегрированных устройствах современной микроэлектроники, а также основные тенденции развития материалов и технологий в этой области. Подробно рассмотрены вопросы формирования и визуализации структуры многослойных композиций на основе тонких пленок и границ раздела пленка – подложка на атомном уровне с помощью методов электронной микроскопии и моделирования изображений высокого разрешения, а также принципы создания наноструктур в пористых матрицах. Издание иллюстрирует возможности применения методов современного структурного анализа к исследованию и визуализации микро- и наносистем. Для магистрантов, обучающихся по направлению подготовки 22.04.01 «Материаловедение и технологии материалов». Пособие может быть полезно аспирантам, научным и инженерно-техническим работникам, специализирующимся в области материаловедения тонкопленочных материалов.

Скачать Читать онлайн

Категория: учебники и пособия для вузов
Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Год написания: 2017
Возрастное ограничение: 0+
ISBN: 978-5-7038-4743-5
Легальная стоимость: 240.00 руб.