Формирование функциональных слоев
Юрий Панфилов
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: МГТУ им. Н.Э. Баумана
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7038-5350-4
- Легальная стоимость: 180 руб.
Читать книгу «Формирование функциональных слоев» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
