Основы технологии электронной компонентной базы
Е. Э. Бодров
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Инфра-Инженерия
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-9729-0846-2
- Легальная стоимость: 860.00 руб.
Читать книгу «Основы технологии электронной компонентной базы» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
