Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов
Ю. А. Родионов
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника», «Конструирование и технология электронных средств».
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Издательство ЛАНЬ
- Год написания: 2023
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-507-46956-7
- Легальная стоимость: 1060.00 руб.
Читать книгу «Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
