Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель технологии и анодного окисления
Л. П. Милешко
Междисциплинарное учебное пособие, предназначенное для факультативного изучения студентами магистратуры, обучающимися по направлениям подготовки «Техносферная безопасность», «Нанотехнологии и микросистемная техника» и «Конструирование и технология электронных средств». Рассмотрены основные закономерности образования, свойства и примеры использования золь-гель‒пленок легированных лантаноидами на планарных подложках и в мезоскопических порах пористого кремния, пористого анодного оксида алюминия и синтетических опалов, а также легированных фосфором или бором анодных оксидных пленок кремния, карбида кремния, нитрида кремния и легированных хлором ‒ меди (I).
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Южный Федеральный Университет
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-9275-3182-0
- Легальная стоимость: 198.00 руб.
Читать книгу «Основы процессов получения легированных оксидных пленок методами золь-гель технологии и анодного окисления» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
