Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Ю. А. Родионов
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.
Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Инфра-Инженерия
- Год написания: 2019
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-9729-0337-5
- Легальная стоимость: 910.00 руб.
Читать книгу «Технологические процессы в микро- и наноэлектронике» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
