Лазеры в микро- и наноэлектронике
А. В. Палий
Учебное пособие содержит обобщение знаний в области лазерных технологий, сведения о физических основах лазерной обработки и её применении в микро- и наноэлектронике. Рассматриваются характеристики и параметры лазерного излучения и особенности различных лазерных технологических процессов, включая моделирование физики воздействия лазерного излучения на основе уравнения теплопроводности. Пособие рекомендовано для подготовки магистров по направлению 11.04.03 «Конструирование и технология электронных средств», а также для специалистов в области лазерных технологий.
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Южный Федеральный Университет
- Год написания: 2018
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-9275-3083-0
- Легальная стоимость: 144.00 руб.
Читать книгу «Лазеры в микро- и наноэлектронике» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
