Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 1. Сканирующая зондовая микроскопия
Борис Кольцов
Пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Экспериментальные методы исследования и метрология», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», и студентов, обучающихся по направлению 210100 «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Новосибирский государственный технический университет
- Год написания: 2013
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7782-2158-1
- Легальная стоимость: 165.00 руб.
Читать книгу «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 1. Сканирующая зондовая микроскопия» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
