Физические основы вакуумной техники
Александр Василевский
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Новосибирский государственный технический университет
- Год написания: 2014
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7782-2424-7
- Легальная стоимость: 110.00 руб.
Читать книгу «Физические основы вакуумной техники» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
