Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2
Александр Величко
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Новосибирский государственный технический университет
- Год написания: 2014
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-5-7782-2534-3
- Легальная стоимость: 240.00 руб.
Читать книгу «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть 2» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
