Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
А. П. Достанко
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности подложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
- Категория: учебники и пособия для вузов
- Правообладатель: Издательский дом “Белорусская наука”
- Год написания: 2016
- Возрастное ограничение: 0+
- ISBN: 978-985-08-1993-2
- Легальная стоимость: 621.00 руб.
Читать книгу «Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники» онлайн:
Комментарии ():
Вам также может понравиться:
